由于每一种元素的原子能级结构是特定的，跃迁时产生的特征X射线的能量也是固定的（两轨道电子壳层的能量差），因此通过测定特征X射线的能量，便可以确定相应元素，而特征X射线的强弱则代表该元素的含量。基于以上原理，可以知道X射线荧光分析仪的核心结构为激发源和探测器，其中，激发源是激发元素产生特征X射线的构件，有带电粒子激发、电磁辐射激发、内转换现象和核衰变等方式，而常用的激发源是电磁辐射激发，便携式X射线应力分析仪就属于此类，采用的是微型X射线管；探测器是将X射线荧光的能量和强度转化成一定形状和数量的电脉冲，实质上就是一个能量→电量的传感器，常用的探测器有正比计数器、闪烁计数器和半导体计数器，本便携式X射线应力分析仪用的是半导体计数器（硅漂移探测器），能量分辨率优于前两者。

    鉴于本便携式X射线应力分析仪采用的是X射线激发，*的应该是使用过程中的安全问题，看到下面这个图标没？“CAUTION RADIATION”，这表明在工作过程中是有辐射的，但不要吓慌，正确操作的话，不必担心这个问题，辐射剂量在可控范围。